惰性氣體質量流量計尤其適用于大容量應用環境。這種流道設計通過傳感器組件可以實現極低壓降，使其非常適用于醫療通風和呼吸應用領域。
主要用于工業管道介質流體的流量測量，如氣體、液體、蒸氣等多種介質。其特點是壓力損失小，量程范圍大，精度高，在測量工況體積流量時幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無可動機械零件，因此可靠性高，維護量小。儀表參數能穩定。采用壓電應力式傳感器,可靠性高，可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內工作。有模擬標準信號,也有數字脈沖信號輸出，容易與計算機等數字系統配套使用，是一種比較理想的測量儀器。
惰性氣體質量流量計使用以后能夠對各種氣體介質進行準確的測量，但是，如果流量計的精度達不到標準，測量出來的結果準確性就會大打折扣。那么，哪些原因會對惰性氣體質量流量計的測量精度造成影響呢？接下來我們一起來看看吧。
1、直管段的長度
在安裝的時候，如果直管段的長度不足，就會對測量精度產生影響，而且，不同類型的氣體介質會有不同的流阻，因此對測量精度影響的程度也是不一樣的，若想知道具體的偏差值大小，可以根據流阻信息和直管段長度來進行計算。
2、水和水汽
正常情況下氣體介質中是不應該含有水分或水汽的，但是，如果被測量的氣體介質所測介質中含有水或水汽或者在探頭上結有水滴，那么都會導致設備產生較大的測量值誤測，而且，因為水和水汽產生的偏差值是沒有辦法來計算的。如果介質中含有水或水汽，那么為了避免對測量精度產生影響，建議采取在水平管道的下半圓斜向上四十五度角開孔的方式來安裝設備。
3、插入的深度
在標定情況下，傳感器的探頭是在管道中心線上的，但是在安裝時探頭因插入過深或過淺而導致偏離了中心線，那也將會造成測量值的精度不夠，而且偏差大小同樣也是不可計算的。
對測量精度產生影響的因素很多，其中有一些偏差值是可以被計算出來的，但是有一些卻無法進行計算，所以，為了確保精度十分可靠，應該盡量按照規范來安裝和使用流量計，避免產生各種會影響測量精度的因素。
